集成電路芯片作為現代信息技術的基石,其性能的持續提升與新材料技術的創新應用密不可分。隨著摩爾定律逼近物理極限,單純依靠工藝微縮已難以滿足高性能、低功耗、多功能芯片的發展需求。新材料技術的引入,正從底層材料科學層面為芯片設計、制造乃至后期服務帶來革命性變革,成為驅動產業持續前進的核心引擎之一。
一、 關鍵新材料在芯片設計端的應用突破
在芯片設計階段,新材料技術主要體現在對新型晶體管架構和互連技術的探索與支持上。
- 高遷移率溝道材料:為突破傳統硅基材料在遷移率上的瓶頸,III-V族化合物(如InGaAs)和二維材料(如石墨烯、過渡金屬硫化物)因其優異的載流子遷移率,被深入研究用于構建高性能晶體管的溝道,尤其適用于高速、低功耗的邏輯電路與射頻器件設計。
- 新型柵極與介質材料:隨著晶體管尺寸不斷縮小,高介電常數(High-k)柵介質(如HfO?)與金屬柵極的組合,有效抑制了柵極漏電流,提升了器件可靠性,已成為先進工藝節點的標準配置,直接影響著芯片的功耗與性能設計指標。
- 先進互連材料:芯片內部金屬互連線的電阻和電容(RC延遲)已成為制約性能的關鍵因素。鈷(Co)、釕(Ru)等新型導體材料以及空氣隙(Air Gap)等低介電常數介質,被引入后端互連工藝,旨在降低電阻和寄生電容,提升信號傳輸速度與能效。
二、 新材料賦能芯片制造與封裝服務
新材料技術在制造與封裝環節的應用,直接決定了芯片的良率、性能、可靠性和集成度。
- 極紫外(EUV)光刻材料:EUV光刻是實現更小線寬的關鍵。與之配套的光刻膠、掩模版保護膜(Pellicle)等材料技術是保障EUV光刻圖案化精度的基礎,其研發進展直接影響著先進工藝的量產能力。
- 芯片襯底與異質集成材料:為滿足不同功能芯片(如邏輯、存儲、射頻、光電)的集成需求,硅基氮化鎵(GaN-on-Si)、絕緣體上硅(SOI)、碳化硅(SiC)等復合襯底材料得到廣泛應用。通過硅中介層、玻璃基板、扇出型封裝(Fan-Out)等先進封裝材料與工藝,實現多芯片異構集成(如Chiplet),成為延續算力增長、優化系統性能的重要路徑。
- 熱管理材料:隨著芯片功耗密度激增,散熱成為嚴峻挑戰。高性能熱界面材料(TIM)、均熱板、金剛石散熱片等高導熱材料在封裝中的應用,對于保障芯片在高負載下的穩定運行和長期可靠性至關重要。
三、 面向未來的材料技術趨勢與挑戰
新材料技術的探索將繼續圍繞“超越摩爾”(More than Moore)和“擴展摩爾”(More Moore)兩條主線展開。
- 新興信息載體材料:基于自旋電子學(Spintronics)的自旋材料、用于存算一體的新型阻變存儲器(RRAM)材料、相變材料(PCM)以及鐵電材料等,為開發非馮·諾依曼架構的芯片(如類腦計算芯片)提供了物理基礎。
- 可集成光子學材料:硅光子、鈮酸鋰薄膜(LNOI)等材料平臺,使得光互連、光計算芯片成為可能,有望解決電互連的帶寬瓶頸和功耗問題。
- 柔性可拉伸電子材料:有機半導體、納米金屬線、液態金屬等材料,推動著柔性、可穿戴芯片與生物集成電子設備的發展。
面臨的挑戰同樣突出:新材料從實驗室走向量產需要攻克工藝兼容性、成本控制、長期可靠性驗證等難關;新材料體系的引入對芯片設計工具(EDA)、制造設備和專業人才都提出了全新要求,需要產業鏈上下游協同創新。
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新材料技術與集成電路芯片設計及服務已深度融合,構成了相互驅動、協同演進的共生關系。材料創新不僅是實現芯片性能飛躍的突破口,也是催生新架構、新應用、新服務的源頭活水。持續加大多元化新材料體系的研發投入,并構建與之適配的設計、制造與封測生態,是我國集成電路產業實現高質量發展和自主可控的必由之路。